EDS分析
简述
X射线能谱分析（EDS）是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，其结合扫描电子显微镜SEM，能够更清晰精准地对指定位置或异物进行成分分析，从而同时获得表面形貌与成分的数据信息。
使用标准：GB/T 17359-2012 微束、能谱法定量分析
探测元素范围：Be4～U92
试样制备：EDS的定量分析结果的准确性与试样制备技术密切相关，要根据试样的不同特点，制备满足定量分析要求的试样。实际分析中，许多情况下无法得到平的试样，如粉体、断口及不能破坏的零部件等。这类试样仍然可以用EDS分析，虽然定量准确度少差，但许多情况下可以满足实际要求，例如金属中夹杂、玻璃中结石等。
示例
1.铝材成分
| 谱图12 | ||||
|
元素 |
线类型 |
重量百分比 |
Wt% Sigma |
原子百分比 |
|
Al |
K线系 |
97.05 |
0.41 |
97.05 |
|
Mg |
K线系 |
2.42 |
0.11 |
2.69 |
|
Ti |
K线系 |
0.00 |
0.11 |
0.00 |
|
V |
K线系 |
0.06 |
0.12 |
0.03 |
|
Cr |
K线系 |
0.30 |
0.13 |
0.16 |
|
Mn |
K线系 |
0.04 |
0.13 |
0.02 |
|
Fe |
K线系 |
0.03 |
0.15 |
0.02 |
|
Ni |
K线系 |
0.08 |
0.17 |
0.03 |
|
Si |
K线系 |
0.00 |
0.15 |
0.00 |
|
Cu |
K线系 |
0.00 |
0.21 |
0.00 |
|
Zn |
K线系 |
0.01 |
0.26 |
0.00 |
|
总量 |
100.00 | 100.00 |
2、锡膏成分：
| 谱图 1 | ||||
|
素 |
线类型 |
重量百分比 |
Wt % Sigma |
原子百分比 |
|
Sn |
L线系 |
99.09 |
0.36 |
98.57 |
|
Ag |
L线系 |
0.34 |
0.27 |
0.38 |
|
Cu |
K线系 |
0.57 |
0.24 |
1.05 |
|
总量 |
100.00 | 100.00 |
