声学扫描显微镜（SAT）

声学扫描显微镜是一种多功能、高分辨率的显微成像仪，兼具电子显微术高分辨率和声学显微术非破坏性内部成像的特点，被广泛应用于元器件非破坏性的缺陷检测，检测项目包含电子元器件、LED、PCB、FPC和金属基板的分层、裂纹等缺陷（裂纹、分层、空洞等）；超声扫描利用材料密度决定了声阻抗的原理，通过高频超声检测得到材料密度的分布，从而推导出应力场，判别材料内部声阻抗差异、确定缺陷形状和尺寸、确定缺陷方位。

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